Deep sub-wavelength metrology for advanced defect classification

Author:

van der Walle P.1,Kramer E.1,van der Donck J. C. J.1,Mulckhuyse W.1,Nijsten L.1,Bernal Arango F. A.1,de Jong A.1,van Zeijl E.1,Spruit H. E. T.1,van den Berg J. H.1,Nanda G.2,van Langen-Suurling A. K.2,Alkemade P. F. A.2,Pereira S. F.2,Maas D. J.1

Affiliation:

1. TNO (Netherlands)

2. Technische Univ. Delft (Netherlands)

Publisher

SPIE

Reference21 articles.

1. Automatic Classification of Blank Substrate Defects;Boettiger,2014

2. RapidNano: Towards 20nm Particle Detection on EUV Mask Blanks

3. http://www.appliedmaterials.com/files/pdf_documents/SEMVisionG6-technical-briefing.pdf, accessed on June 20th, 2017.

4. https://www.bruker.com/fileadmin/user_upload/8-PDF-Docs/SurfaceAnalysis/AFM/Webinars/Defect_Classification_by_PeakForce_Tapping_Nanomechanical_Measurement_-_FINAL_-.pdf, accessed on June 20th, 2017.

5. Imaging and Nanofabrication With the Helium Ion Microscope of the Van Leeuwenhoek Laboratory in Delft

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