Improved Bake Latitude Organic Anti-Reflective Coatings for High Resolution Metallisation Lithography
Author:
Affiliation:
1. Plessey Research (Caswell) Ltd (England)
Publisher
SPIE
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1. Resist Technology—Design, Processing, and Applications;Handbook of VLSI Microlithography;2001
2. Microlithography: An overview;Advanced Materials for Optics and Electronics;1994-03
3. An inorganic anti‐reflective coating for use in photolithography;Journal of Applied Physics;1993-04-15
4. Titanium mononitride as an antireflection layer on aluminium metallization for submicron photolithographic patterning;Semiconductor Science and Technology;1991-12-01
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