Implementation and performance of a femtosecond laser mask repair system in manufacturing
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Publisher
SPIE
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1. Structuring of thin films by ultrashort laser pulses;Applied Physics A;2022-12-08
2. Femtosecond laser microfabrication of micro-channels on (1 0 0) silicon surfaces;Materials Today: Proceedings;2020
3. Ultrashort pulse laser repair of photomasks for advanced lithography technologies;Photomask Technology 2018;2018-10-03
4. Update on the performance of photomask repair and clean with DUV femtosecond laser processes;Photomask Japan 2018: XXV Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology;2018-06-12
5. Femtosecond laser-induced damage of gold films;Applied Surface Science;2007-07
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