Auger analysis of chlorine in ``HCl‐ or Cl2‐grown'' SiO2films
Author:
Publisher
AIP Publishing
Subject
Physics and Astronomy (miscellaneous)
Link
http://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/1.1654681
Reference2 articles.
1. Neutralization of Na+ Ions in ``HCl‐Grown'' SiO2
2. The Effect of HCl and Cl[sub 2] on the Thermal Oxidation of Silicon
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