An ice lithography instrument

Author:

Chervinsky John,Branton Daniel,Golovchenko J. A.

Funder

National Institutes of Health

Publisher

AIP Publishing

Subject

Instrumentation

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1. A micromachined Joule-Thomson cryocooler for ice lithography;Microelectronic Engineering;2024-06

2. Electron beam lithography on nonplanar and irregular surfaces;Microsystems & Nanoengineering;2024-04-19

3. Ice lithography using tungsten hexacarbonyl;Micro and Nano Engineering;2023-04

4. Direct Writing of 3D Micro/Nanostructures Based on Nanoscale Strong Electric Field of Electron Beam;Advanced Engineering Materials;2022-09-11

5. 80 K cryogenic stage for ice lithography;Micro and Nano Engineering;2022-04

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