1. Institute of Materials Physics, Westfälische Wilhelms-Universität Münster, 48149 Münster, Germany
2. Institute of Semiconductor Technology (IHT) and Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Technische Universität Braunschweig, 38106 Braunschweig, Germany
3. IM2NP, CNRS-Universités d'Aix-Marseille et de Toulon, Case 142, 13397 Marseille Cedex 20, France