A kinetic model for stress generation in thin films grown from energetic vapor fluxes

Author:

Chason E.1,Karlson M.1,Colin J. J.2,Magnfält D.3ORCID,Sarakinos K.3ORCID,Abadias G.2

Affiliation:

1. School of Engineering, Brown University, Providence, Rhode Island 02912, USA

2. Institut P', Département Physique et Mécanique des Matériaux, Université de Poitiers-CNRS-ENSMA, SP2MI, Téléport 2, Bd M. et P. Curie, F-86962 Chasseneuil-Futuroscope, France

3. Nanoscale Engineering Division, Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University, SE-581 83 Linköping, Sweden

Funder

U.S. Department of Energy (DOE)

Linköpings Universitet (LiU)

Publisher

AIP Publishing

Subject

General Physics and Astronomy

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