1. RWTH Aachen University, Experimental Physics of EUV, Steinbachstraße 15, 52074 Aachen, Germany
2. Forschungszentrum Jülich GmbH, Peter Grünberg Institut (PGI-9), JARA-FIT, 52425 Jülich, Germany
3. Forschungszentrum Jülich GmbH, Peter Grünberg Institut (PGI-6), JARA-FIT, 52425 Jülich, Germany
4. Institut für Angewandte Physik, Universität Hamburg, Jungiusstraße 11, 20355 Hamburg, Germany
5. RWTH Aachen University, Chair for Technology of Optical Systems, JARA-FIT, Steinbachstraße 15, 52074 Aachen, Germany
6. Fraunhofer Institute for Laser Technology, Steinbachstrasse 15, 52074 Aachen, Germany