1. I. Sh. Abdullin, V. S. Zheltukhin, and N. F. Kashapov, Radio-Frequency Plasma-Jet Material Processing at Low Pressures (Kazan. Gos. Technol. Univ., Kazan, 2000) [in Russian].
2. P. L. G. Ventzek, T. J. Sommerer, R. J. Hoekstra, and M. J. Kushner, Appl. Phys. Lett. 63, 605 (1993).
3. H. Li, T. Xu, J. Chen, H. Zhou, and H. Liu, Appl. Surf. Sci. 227, 364 (2004).
4. N. Kosku, H. Murakami, S. Higashi, and S. Miyazaki, Appl. Surf. Sci. 244, 39 (2005).
5. D.-Q. Wen, W. Liu, F. Gao, M. Lieberman, and Y.‑N. Wang, Plasma Sources Sci. Technol. 25, 045009 (2016).