1. V. V. Pasynkov and V. S. Sorokin, Materials for Electronic Technology, The School-Book (Lan’, St.-Petersburg, 2001), p. 167 [in Russian].
2. D. S. Rawal, B. K. Sehgal, R. Muralidharan, and H. K. Malik, Plasma Sci. Technol. 13, 223 (2011).
3. A. V. Dunaev, S. A. Pivovarenok, A. M. Efremov, and V. I. Svettsov, Izv. Vyssh. Uchebn. Zaved., Khim. Khim. Tekhnol. 53 (5), 53 (2010).
4. A. V. Dunaev, S. A. Pivovarenok, O. A. Semenova, S. P. Kapinos, A. M. Efremov, and V. I. Svettsov, Fiz. Khim. Obrab. Mater., No. 6, 42 (2010).
5. A. V. Dunaev, S. A. Pivovarenok, A. M. Efremov, and V. I. Svettsov, Russ. Microelectron. 40, 379 (2011).