Annealing effect on the formation of high-k dielectric in the W/ultrathin HfO2/Si-substrate system

Author:

Rudakov V. I.,Bogoyavlenskaya E. A.,Denisenko Yu. I.

Publisher

Pleiades Publishing Ltd

Subject

Physics and Astronomy (miscellaneous)

Reference10 articles.

1. “Sintez, Svoistva i Primenenie Dielektrikov s Vysokoi Dielectricheskoi Pronitsaemost’ju v Kremnievyh Priborah” (“Synthesis, Properties and Applications of Dielectrics with High Dielectric Constant in Silicon Based Devices”), Ed. by A. L. Aseev and V. A. Gritsenko (Novosibirsk: Publishing House of SB RAS. 157 s. (2011) [in Russian].

2. J. Robertson, Eur. Phys. J. Appl. Phys. 28, 265 (2004).

3. S.-W. Jeong, K. S. Kim, M. T. You, et al., J. Korean Phys. Soc. 47, S402 (2005).

4. R. Jiang and Z-F. Li, Chin. Phys. Lett. 26(5), 057101 (2009).

5. T. -T. Tan, Zh.-T. Liu, W.-T. Liu, et al., Chin Phys. Lett. 25(10), 3750 (2008).

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