Development of the method of electron-optical in situ monitoring for periodic structures

Author:

Barabanenkov M. Yu.,Kazmiruk V. V.,Savitskaya T. N.

Publisher

Pleiades Publishing Ltd

Subject

Surfaces, Coatings and Films

Reference15 articles.

1. R. Attota, R. M. Silver, T. Germer, et al., Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 5375, 78 (2004).

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1. Optimization of the Electron Optical System of a Scanning Electron Microscope for Measuring the Size of Micro- and Nanoobjects;Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques;2019-07

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