1. M. Navez, C. Sella, and D. Chaperot, C. R. Acad. Sci., Paris 254, 240 (1962).
2. V. K. Smirnov, D. S. Kibalov, S. A. Krivelevich, et al., Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 147, 310 (1999).
3. VLSI Technology, Ed. by S. M. Sze (McGraw Hill, New York, 1983; Mir, Moscow, 1986).
4. V. F. Bochkarev, V. V. Naumov, O. S. Trushin, et al., Tr. FTIAN 9, 25 (1995).
5. B. G. Budaguan, A. A. Sherchenkov, D. A. Stryahilev, et al., J. Electrochem. Soc. 145, 2508 (1998).