1. Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH
2. D-14109 Berlin
3. Germany
4. Institute of Physical Chemistry
5. Bulgarian Academy of Sciences
6. 1113 Sofia
7. Bulgaria
8. Physikalisch-Technische Bundesanstalt
9. D-10587 Berlin
10. Institut für Physik
11. Humboldt-Universität zu Berlin
12. Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration
13. D-13355 Berlin
14. Technische Universität Berlin
15. Research Center of Microperipheric Technologies