Improved polarization and endurance in ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 films on SrTiO3(110)

Author:

Song Tingfeng1,Tan Huan1,Estandía Saúl1,Gàzquez Jaume1ORCID,Gich Martí1,Dix Nico1ORCID,Fina Ignasi1,Sánchez Florencio1ORCID

Affiliation:

1. Institut de Ciència de Materials de Barcelona (ICMAB-CSIC), Campus UAB, Bellaterra 08193, Barcelona, Spain

Abstract

With SrTiO3(110) substrates, the ferroelectric polarization of Hf0.5Zr0.5O2 improved by 50%, with remanent polarization as high as 33 μC cm−2 in a film of less than 7 nm thickness.

Funder

Consejo Superior de Investigaciones Científicas

Fundación BBVA

Departament d'Innovació, Universitats i Empresa, Generalitat de Catalunya

Ministerio de Ciencia e Innovación

China Scholarship Council

Publisher

Royal Society of Chemistry (RSC)

Subject

General Materials Science

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