Wafer-Scale Performance Mapping of Magnetron-Sputtered Ternary Vanadium Tungsten Nitride for Microsupercapacitors

Author:

Dinh Khac Huy123ORCID,Robert Kevin13,Thuriot-Roukos Joelle2ORCID,Huvé Marielle2,Simon Pardis2ORCID,Troadec David1,Lethien Christophe134ORCID,Roussel Pascal2ORCID

Affiliation:

1. Institut d’Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologies, Université de Lille, CNRS, Université Polytechnique Hauts-de-France, UMR 8520−IEMN, F-59000 Lille, France

2. Unité de Catalyse et de Chimie du Solide (UCCS), Université de Lille, CNRS, Centrale Lille, Université d’Artois, UMR 8181−UCCS, F-59000 Lille, France

3. Réseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie (RS2E), CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu, 80039 Amiens Cedex, France

4. Institut Universitaire de France (IUF), 75231 Paris Cedex, France

Funder

Agence Nationale de la Recherche

H2020 Marie Sklodowska-Curie Actions

Publisher

American Chemical Society (ACS)

Subject

Materials Chemistry,General Chemical Engineering,General Chemistry

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