Atomic Layer Deposition of Functional Layers for on Chip 3D Li-Ion All Solid State Microbattery

Author:

Létiche Manon123,Eustache Etienne134,Freixas Jeremy134,Demortière Arnaud35,De Andrade Vincent6,Morgenroth Laurence1,Tilmant Pascal1,Vaurette François1,Troadec David1,Roussel Pascal2,Brousse Thierry34,Lethien Christophe13

Affiliation:

1. Institut d'Electronique; de Microélectronique et de Nanotechnologie; CNRS UMR 8520 - Université de Lille Sciences et Technologies; BP60069 59652 Villeneuve d'Ascq cedex France

2. Unité de Catalyse et de Chimie du Solide (UCCS); CNRS UMR 8181 - Université Lille 1 Sciences et Technologies; 59655 Villeneuve d'Ascq Cedex France

3. Réseau sur le Stockage Electrochimique de l'Energie; CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu 80039 Amiens Cedex France

4. Institut des Matériaux Jean Rouxel; CNRS UMR 6502 - Université de Nantes; 2 rue de la Houssinière BP32229 44322 Nantes cedex 3 France

5. Laboratoire de Réactivité et de Chimie des Solides (LRCS); CNRS UMR 7314 - Université de Picardie Jules Verne; 100 Rue St Leu 80000 Amiens France

6. Argonne National Lab; Advanced Photon Sources Beam line; Bldg. 401/Rm A4115, Argonne National Laboratory 9700 S. Cass Ave. Argonne IL 60439 USA

Funder

Agence Nationale de la Recherche

Direction Générale de l’Armement

French RENATECH network

Fonds Européen de Développement Régional

Centre National de la Recherche Scientifique

Région Nord Pas-de-Calais

Ministère de l'Education Nationale de l'Enseignement Supérieur et de la Recherche

Publisher

Wiley

Subject

General Materials Science,Renewable Energy, Sustainability and the Environment

同舟云学术

1.学者识别学者识别

2.学术分析学术分析

3.人才评估人才评估

"同舟云学术"是以全球学者为主线,采集、加工和组织学术论文而形成的新型学术文献查询和分析系统,可以对全球学者进行文献检索和人才价值评估。用户可以通过关注某些学科领域的顶尖人物而持续追踪该领域的学科进展和研究前沿。经过近期的数据扩容,当前同舟云学术共收录了国内外主流学术期刊6万余种,收集的期刊论文及会议论文总量共计约1.5亿篇,并以每天添加12000余篇中外论文的速度递增。我们也可以为用户提供个性化、定制化的学者数据。欢迎来电咨询!咨询电话:010-8811{复制后删除}0370

www.globalauthorid.com

TOP

Copyright © 2019-2024 北京同舟云网络信息技术有限公司
京公网安备11010802033243号  京ICP备18003416号-3