Surface-Nanostructured Al–AlN Composite Thin Films with Excellent Broad-Band Antireflection Properties Fabricated by Limited Reactive Sputtering-Reference-Cited by-同舟云学术

Surface-Nanostructured Al–AlN Composite Thin Films with Excellent Broad-Band Antireflection Properties Fabricated by Limited Reactive Sputtering

Published:2018-02-08 Issue:3 Volume:1 Page:1124-1130
ISSN:2574-0970
Container-title:ACS Applied Nano Materials
language:en
Short-container-title:ACS Appl. Nano Mater.

Author:

Yuan Qian¹,Döll Joachim²,Romanus Henry²,Wang Hongmei¹,Bartsch Heike³,Albrecht Arne²,Hoffmann Martin⁴,Schaaf Peter¹,Wang Dong¹^ORCID

Affiliation:

1. FG Werkstoffe der Elektrotechnik, Institut für Werkstofftechnik und Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Strasse 5, 98693 Ilmenau, Germany

2. Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Strasse 7, 98693 Ilmenau, Germany

3. FG Elektroniktechnologie, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Strasse 1, 98693 Ilmenau, Germany

4. Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum, Universitätsstrasse 150, 44801 Bochum, Germany

Funder

Deutsche Forschungsgemeinschaft

Publisher

American Chemical Society (ACS)

Subject

General Materials Science

Link

https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acsanm.7b00302

Reference32 articles.

1. Biomimetic Interfaces for High-Performance Optics in the Deep-UV Light Range

2. Nanostructured multilayer graded-index antireflection coating for Si solar cells with broadband and omnidirectional characteristics