1. Institute of Semiconductor Technology, Technische Universität Braunschweig, Hans-Sommer-Straße 66, Braunschweig D-38106, Germany
2. Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Technische Universität Braunschweig, Langer Kamp 6, Braunschweig D-38106, Germany
3. Institut für Physik, Technische Universität Chemnitz, Reichenhainer Straße 70, Chemnitz D-09126, Germany