Polymer Thin Films on Patterned Si Surfaces

Author:

Li Z.1,Tolan M.1,Höhr T.1,Kharas D.1,Qu S.1,Sokolov J.1,Rafailovich M. H.1,Lorenz H.1,Kotthaus J. P.1,Wang J.1,Sinha S. K.1,Gibaud A.1

Affiliation:

1. Department of Materials Science and Engineering, State University of New York at Stony Brook, Stony Brook, New York 11794-2275, Institut für Experimentalphysik der Universität Kiel, Leibnizstrasse 19, 24098 Kiel, Germany, Sektion Physik, Ludwig-Maximilians-Universität Munchen, Geschwister-Scholl-Platz 1, 80539 Munchen, Germany, Argonne National Laboratory, APS, 9700 South Cass Avenue, Argonne, Illinois 60439-4814, and Faculte des Sciences, Universite du Maine, 72017 LeMans Cedex, France

Publisher

American Chemical Society (ACS)

Subject

Materials Chemistry,Inorganic Chemistry,Polymers and Plastics,Organic Chemistry

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