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Combined optical and X–ray interferometry for high–precision dimensional metrology

  • Published:2000-03-08 Issue:1995 Volume:456 Page:701-729
  • ISSN:1364-5021
  • Container-title:Proceedings of the Royal Society of London. Series A: Mathematical, Physical and Engineering Sciences
  • language:en
  • Short-container-title:Proc. R. Soc. Lond. A

Author:

Basile G.1,Becker P.2,Bergamin A.1,Cavagnero G.1,Franks A.3,Jackson K.3,Kuetgens U.2,Mana G.1,Palmer E. W.3,Robbie C. J.3,Stedman M.3,Stümpel J.2,Yacoot A.3,Zosi G.4

Affiliation:

1. Istituto di Metrologia ‘G. Colonetti’, Strada delle Cacce 73, 10135 Torino, Italy

2. Physikalisch–Technische Bundesanstalt, D–38023 Braunschweig, Germany

3. National Physical Laboratory, Teddington, Middlesex TW11 0LW, UK

4. Istituto di Fisica Generale ‘A. Avogadro’, University of Turin, 10125 Torino, Italy

Publisher

The Royal Society

Subject

General Physics and Astronomy,General Engineering,General Mathematics

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