1. Step Coverage and Electrical Properties of(Ba,Sr)TiO3Films Prepared by Liquid Source Chemical Vapor Deposition UsingTiO(DPM)2
2. 1. Yuuki A. , Yamamuka M. , Makita T. , Horikawa T. , Shibano T. , Hirano N. , Maeda H. , Mikami N. , Ono K , Ogata H. , and Abe H. , Tech. Dig. IEDM 1995, 115–118.
3. 3. Ono K. , Horikawa T. , Shibano T. , Mikami N. , Kuroiwa T. , Kawahara T. , Matsuno S. , Uchikawa F. , Satoh S. , and Abe H. , Tech. Dig. IEDM 1998, 803–806.
4. 7. Kawahara T. , Matsuno S. , Yamamuka M. , Tarutani M. Sato T. , Horikawa T. , Uchikawa F. , and Ono K. , Ext. Abstr. SSDM 1998, 50–51.
5. 6. Yamamuka M. , Kawahara T. , Tarutani M. , Horikawa T. and Ono K. , 19th Symp. Dry Process 1997, 343–348.