Low-Temperature Atomic Layer Deposition
Author:
Publisher
Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA
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http://onlinelibrary.wiley.com/wol1/doi/10.1002/9783527639915.ch6/fullpdf
Reference85 articles.
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1. Optical TiO2 layers deposited on polymer substrates by the Gas Injection Magnetron Sputtering technique;Applied Surface Science;2019-02
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