Affiliation:
1. Computational Nano Optics Zuse Institute Berlin Takustraße 7 14195 Berlin Germany
2. EUV Nanometrology Physikalisch‐Technische Bundesanstalt (PTB) Abbestr. 2‐12 10587 Berlin Germany
3. JCMwave GmbH Bolivarallee 22 14050 Berlin Germany
Funder
Bundesministerium für Bildung und Forschung
Horizon 2020 Framework Programme
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
European Metrology Programme for Innovation and Research
Subject
Multidisciplinary,Modeling and Simulation,Numerical Analysis,Statistics and Probability
Cited by
2 articles.
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