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Characterization of the oxidation of tantalum nitride

  • Published:1993-06 Issue:7 Volume:20 Page:559-564
  • ISSN:0142-2421
  • Container-title:Surface and Interface Analysis
  • language:en
  • Short-container-title:Surf. Interface Anal.

Author:

Ibidunni A. O.,Masaitis R. L.,Opila R. L.,Davenport A. J.,Isaacs H. S.,Taylor J. A.

Publisher

Wiley

Subject

Materials Chemistry,Surfaces, Coatings and Films,Surfaces and Interfaces,Condensed Matter Physics,General Chemistry

Reference16 articles.

1. Proc. 1st Int. Symp. on Corrosion of Electronic Materials and Devices, ed. by pp. 346-367. The Electrochemical Society, Pennington, NJ (1991).

2. and Proc. 1st Int. Symp. on Corrosion of Electronic Materials and Devices, ed. by pp. 332-345. The Electrochemical Society, Pennington, NJ (1991).

3. Binary Alloy Phase Diagrams, Vol. 3. ASM International, Materials Park, OH (1990).
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