Silicon carbide for microelectromechanical systems

Author:

Mehregany M.,Zorman C.A.,Roy S.,Fleischman A.J.,Rajan N.,

Publisher

Informa UK Limited

Subject

Materials Chemistry,Metals and Alloys,Mechanical Engineering,Mechanics of Materials

Reference21 articles.

1. M. MADOU: 'Fundamentals of microfabrication', 275–323; 1997, Boca Raton, FL, CRC Press.

2. G. T. A. KOVACS: `Micromachined transducers sourcebook', 26; 1998, New York, McGraw Hill.

3. G. L. HARRIS: 'Properties of silicon carbide'; 1995, London, Inspec.

4. Particle-Packing Phenomena and Their Application in Materials Processing

5. Applications of High Purity SiC Prepared by Chemical Vapor Deposition

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