Synthesis of SiOC(–H) Films by the Atmospheric Pressure Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Method

Author:

Mori Takanori1,Masuko Taiki1,Shirakura Akira1,Suzuki Tetsuya1

Affiliation:

1. Graduate School of Science and Technology, Keio University

Publisher

Surface Science Society Japan

Subject

Surfaces, Coatings and Films,Surfaces and Interfaces,Mechanics of Materials,Condensed Matter Physics,Bioengineering,Biotechnology

Reference34 articles.

1. [1] J. Graetz, C. C. Ahn, R. Yazami, and B. Fultz, J. Phys. Chem. B 107, 2887 (2003).

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