Large Transverse Sensitivity and Force Sensor Application of Strain Sensitive Cr-N Thin Films

Author:

Niwa Eiji1

Affiliation:

1. Research Institute for Electromagnetic Materials

Publisher

Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Mechanical Engineering

Reference40 articles.

1. (1) 渡部清昭:「最近のひずみゲージと測定器」, 金属, Vol. 72, No. 4, pp. 5-11 (2002)

2. (2) 渡辺 理:「ひずみゲージとその応用」, 日刊工業新聞社, pp. 19-20およびpp. 127-135 (1968)

3. (3) 高橋 賞・河井正安:「ひずみ測定入門」, 大成社, pp. 43-44およびp.64 (2007)

4. (4) 中村直司:「高感度ひずみセンサ材料の開発動向」, 金属, Vol. 63, No. 6, pp. 61-65 (1993)

5. (5) E. Niwa and Y. Sasaki : “Cr-N strain sensitive thin films and their pressure sensor applications”, IEEJ Trans. SM, Vol. 134, No. 12, pp. 385-391 (2014) (in Japanese)

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