Highly Sensitive Cr-N Thin Film Pressure Sensor using Ceramic Structure Body
Author:
Affiliation:
1. Japan Fine Ceramics Co., Ltd.
2. Research Institute for Electromagnetic Materials
Publisher
Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Mechanical Engineering
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/143/12/143_383/_pdf
Reference16 articles.
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1. Application of Cr-N and Fe-Pd Thin Films to Tactile Sensors for Simultaneous Strain and Temperature Measurement;IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines;2024-09-01
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