Utilization of Transverse Sensitivity on Cr-N Thin Films for Miniaturized and Higher Withstanding Load Metal Diaphragm Type Pressure and Force Sensors

Author:

Niwa Eiji1

Affiliation:

1. Research Institute for Electromagnetic Materials

Publisher

Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Mechanical Engineering

Reference28 articles.

1. (1) 熊谷常雄:「ひずみゲージとブリッジ回路」, 計測と制御, Vol. 45, No. 4, pp. 323-328 (2006)

2. (2) E. Niwa and Y. Sasaki : “Cr-N strain sensitive thin films and their pressure sensor applications”, IEEJ Trans. SM, Vol. 134, No. 12, pp. 385-391 (2014) (in Japanese)

3. 丹羽英二・佐々木祥弘:「Cr-N感歪薄膜とその圧力センサ応用」, 電学論E, Vol. 134, No. 12, pp. 385-391 (2014)

4. (3) 丹羽英二・白川 究・佐々木祥弘・荒井賢一:「高感度で温度に不変なCr-N薄膜ひずみゲージの開発」, 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集, 28pm1-A-1 (2015)

5. (4) E. Niwa, K. Shirakawa, S. Shingyochi, S. Xiong, K. Nakahara, T. Ito, and Y. Sasaki : “Load vector sensors using strain sensitive Cr-N thin films and their application”, IEEJ Trans. SM, Vol. 134, No. 6, pp. 132-139 (2014) (in Japanese)

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