圧電デバイス2.0
Author:
Affiliation:
1. 東北大学
Publisher
Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)
Subject
Electrical and Electronic Engineering
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal/144/2/144_64/_pdf
Reference20 articles.
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2. (2) 田中秀治:「弾性波フィルタとは何か-FBARやSMRをわかりやすく,詳しく解説」,センサイト,https://sensait.jp/14350/(2020)
3. (3) K. Nakamura, H. Sasaki, and H. Shimizu : “A Piezoelectric Composite Resonator Consisting of ZnO Film on an Anisotropically Etched Silicon Substrate”, Jpn. J. Appl. Phys., Vol.20, Supplement 20-3, pp.111-114 (1981)
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