Auto-triangulation and auto-trilateration

Author:

Lee Michael C.,Ferreira Placid M.

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Engineering

Reference8 articles.

1. Lee MC, Ferreira PM. Auto-triangulation and auto-trilateration: Part 1. Fundamentals. Prec Eng, 2002,

2. Raugh MR. Auto calibration method suitable for use in electron beam lithography. US Patent No. 4,583,298 (April 22, 1986).

3. Absolute two-dimensional sub-micron metrology for electron beam lithography;Raugh;Prec. Eng.,1985

4. Self-calibration in one dimension;Takac;SPIE Photomask Technology and Management,1993

5. An exact algorithm for self-calibration of two-dimensional precision metrology stages;Ye;Prec. Eng.,1997

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