Ultraprecision 6-Axis Table Driven by Means of Walking Drive

Author:

Shamoto Eiji,Murase Hirokazu,Moriwaki Toshimichi

Publisher

Elsevier BV

Subject

Industrial and Manufacturing Engineering,Mechanical Engineering

Reference6 articles.

1. Positioning Table with High Accuracy and High Speed;Yonezawa;Annals of the CIRP,1990

2. Rigid XYθ table for Ultraprecision Machine Tool Driven by Means of Walking Drive;Shamoto;Annals of the CIRP,1997

3. Shamoto, E. and Moriwaki, T., 1992, Walking Drive -A New Precision Feed Drive, IMACS/SICE RM2S′92 Kobe: 231–236.

4. Burleigh Instrument Inc. Catalog.

5. Precise Positioner Utilizing Rapid Deformations of a Piezoelectric Element (in Japanese);Higuchi;J. JSPE,1988

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