High-temperature oxidation of CVD β-SiC part I. Experimental study

Author:

Rodríguez-Viejo J.,Sibieude F.,Clavaguera-Mora M.T.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Materials Chemistry,Ceramics and Composites

Reference30 articles.

1. General relationship for the thermal oxidation of silicon;Deal;J. Appl. Phys.,1965

2. Oxidation kinetics of hot-pressed and sintered α-SiC;Costello;J. Am. Ceram. Soc.,1981

3. An 18O study of the thermal oxidation of silicon in oxygen;Rosencher;Appl. Phys. Lett.,1979

4. Permeation of gaseous oxygen through vitreous silica;Norton;Nature,1961

5. Formation of ternary Si-O-C phase(s) during oxidation of SiC;Pampuch;Mater. Sci. Monogr.,1980

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