CoSi2 formation with a thin Ti interlayer-Ti capping layer and Ti capping layer
Author:
Publisher
Elsevier
Reference14 articles.
1. Ti-Interlayer Mediated Epitaxy of CoSi2 with Ti Capping
2. CoSi2 formation in the Ti/Co/SiO2/Si system
3. CoSi2 formation through SiO2
4. Electrical characterization and physical analysis of epitaxial CoSi2 grown from the Si〈100〉/Ti/Co system
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