Strain compensation in ternary Si1 − x − yGexBy films

Author:

Tillack B.,Zaumseil P.,Morgenstern G.,Krüger D.,Dietrich B.,Ritter G.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Materials Chemistry,Inorganic Chemistry,Condensed Matter Physics

Cited by 22 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

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3. Ultra Low Contact Resistivities for CMOS Beyond 10-nm Node;IEEE Electron Device Letters;2013-06

4. Boron Delta-Doping Dependence on Si/SiGe Resonant Interband Tunneling Diodes Grown by Chemical Vapor Deposition;IEEE Transactions on Electron Devices;2012-03

5. Contact Metallization on Silicon–Ger manium;SiGe and Si Strained-Layer Epitaxy for Silicon Heterostructure Devices;2007-12-13

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