Optimisation of lateral super-junction multi-gate MOSFET for high drive current and low specific on-resistance in sub-100 V applications

Author:

Adenekan OlujideORCID,Holland Paul,Kalna Karol

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Engineering

Reference26 articles.

1. State-of-the-art technologies and devices for high-voltage integrated circuits;Udrea;IET Circuits, Devices Syst.,2007

2. Theory of semiconductor superjunction devices;Fujihira;Jpn. J. Appl. Phys.,1997

3. SJ-FINFET: A new low voltage lateral superjunction MOSFET;Onishi,2008

4. Process design of superjunction MOSFETs for high drain current capability and low on-resistance;Saito,2017

5. Atlas User's Manual;Silvaco,2016

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