The metrology of a miniature FT spectrometer MOEMS device using white light scanning interference microscopy

Author:

Montgomery P.C.,Montaner D.,Manzardo O.,Flury M.,Herzig H.P.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Materials Chemistry,Metals and Alloys,Surfaces, Coatings and Films,Surfaces and Interfaces,Electronic, Optical and Magnetic Materials

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1. 基于FDTD的高深宽比沟槽结构低相干显微干涉信号仿真分析;ACTA PHOTONICA SINICA;2023

2. 低相干干涉高深宽比结构高度检测信号处理技术;ACTA PHOTONICA SINICA;2022

3. Variations in the appearance quality of brown rice during the four stages of milling;Journal of Cereal Science;2021-11

4. MOEMS and MEMS - Technology, Benefits & Uses;Portable Spectroscopy and Spectrometry;2021-05-07

5. White light interference microscopy system design;Optics and Photonics for Advanced Dimensional Metrology;2020-04-01

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