基于FDTD的高深宽比沟槽结构低相干显微干涉信号仿真分析

Author:

ZHAO Yuqing 赵雨晴,GAO Zhishan 高志山,YUAN Qun 袁群,MA Jianqiu 马剑秋,SUN Yifeng 孙一峰,GUO Zhenyan 郭珍艳

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Atomic and Molecular Physics, and Optics

Reference25 articles.

1. 三维表面轮廓的白光干涉垂直扫描测量方法的研究;汪洁;计量学报,2006

2. Research on white light interference vertical scanning measurement method of three-dimensional surface profile;Suping CHANG;Journal of Metrology,2006

3. Research on white light scanning interferometry method and system;Long MA,2011

4. 白光扫描干涉测量方法与系统的研究;马龙,2011

5. 3D measurement of TSVs using low numerical aperture white-light scanning interferometry;T JO;Journal of the Optical Society of Korea,2013

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