Affiliation:
1. АО «НИИМЭ»
2. АО «НИИМЭ»; МФТИ (НИУ)
Abstract
В работе исследуется кинетика низкотемпературного радикального окисления кремния в потоке озона, сформированном в озонаторе (генераторе озона). Полученные данные подтверждают уникальные возможности процесса низкотемпературного окисления в озоне - возможность формирования тонкого оксида кремния толщиной 10…20 A при температуре 500 °С, что примерно на 150…200 градусов ниже, чем для существующего процесса ISSG окисления.