Abstract
Рассмотрены силы, действующие на микрочастицы, а также скорости осаждения и расстояния выноса микрочастиц в пограничном градиентном потоке у подложки в условиях газофазной термической и плазменной обработки. Выведены выражения, учитывающие комплексное влияние аэродинамики, электростатики, термофореза и давления ионного потока на движение частиц. Сделаны оценки скоростей и характера движения частиц как факторов дефектообразования при обработке подложек.