Affiliation:
1. Научно-исследовательский институт молекулярной электроники и завод Микрон
Abstract
Рассмотрены базовые принципы обеспечения качества и надёжности микросхем на основе уменьшения дефектности, выявления причинных факторов, влияющих на бесперебойное функционирование производства и скрытых отказов, использования статистических методов контроля технологического процесса и продукции, анализа техпроцесса производства по тестовым ячейкам. Показано, что ввиду того, что дефекты, воздействующие на выход годных и надёжность, имеют одну и ту же первопричину, увеличение выхода годных за счет снижения дефектов будет повышать и надёжность. Представлены некоторые результаты работ НИИМЭ и завода Микрон по повышению качества и надёжности создаваемых интегральных микросхем.
Cited by
2 articles.
订阅此论文施引文献
订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献