Present Progress on Theoretical Studies of Stability and Electronic Structures of Silicon Oxynitride Thin Film
Author:
Affiliation:
1. Department of Micro Engineering, Kyoto University
Publisher
The Vacuum Society of Japan
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj/50/11/50_11_647/_pdf
Reference38 articles.
1. 1) H. Hwang, W. Ting, B. Maiti, D.-L. Kwong and J. Lee: Appl. Phys. Lett., 57 (1990) 1010.
2. 2) S. V. Hattangady, H. Niimi and G. Lucovsky: Appl. Phys. Lett., 66 (1995) 3495 (1995).
3. 3) L. G. Gosset, J. J. Ganem, H. J. von Bardeleben, S. Rigo, I. Trimaille, J. L. Cantin, T. Åkermark and I. C. Vickridge: J. Appl. Phys., 85 (1999) 3661.
4. 4) J. P. Chang, M. L. Green, V. M. Donnelly, R. L. Opila, J. Eng, Jr., J. Sapjeta, P. J. Silverman, B. Weir, H. C. Lu, T. Gustafsson and E. Garfunkel: J. Appl. Phys., 87 (2000) 4449.
5. 5) J. P. Xu, P. T. Lai and Y. C. Cheng: Appl. Phys. A, 70 (2000) 101.
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