New Measurement Method of Outgassing Speed with a Sealed off Residual Gas Analyzer

Author:

WATANABE Fumio

Publisher

The Vacuum Society of Japan

Subject

Spectroscopy,Surfaces and Interfaces,Instrumentation,General Materials Science

Reference7 articles.

1. A Quadrupole Mass Analyzer Combined with a BA-Gauge

2. 3) 真空実験室社で出している TULO-RGA の前モデルで BA 真空計無しのタイプ.ガス放出.排気作用は文献 4) TULO-RGA100に同等.

3. 4) 真空実験社製:BA 真空計複合型超低ガス分析計 TULO-RGA100

4. 5) 米国 Inficon 社 Tware32.

Cited by 2 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Mass Spectrometry Analysis of Outgases from a Vacuum Equipment;Vacuum and Surface Science;2019-05-10

2. Outgassing Measurement for Vacuum Engineering;Journal of the Vacuum Society of Japan;2015

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