A Quadrupole Mass Analyzer Combined with a BA-Gauge
Author:
Affiliation:
1. Vaclab Inc.
Publisher
The Vacuum Society of Japan
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj/48/12/48_12_625/_pdf
Reference7 articles.
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1. New Measurement Method of Outgassing Speed with a Sealed off Residual Gas Analyzer;Journal of the Vacuum Society of Japan;2008
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