1. R. H. Dennard, F. H. Gaensslen, H.-N. Yu, V. Rideout, E. Bassous, and A. R. LeBlanc, IEEE J. Solid-State CircuitsSC-9, 256 (1974).
2. L. Tranet al. CICC, 46 (1986).
3. B. Davari, W. H. Chang, M. R. Wordeman, C. S. Oh, Y. Taur, K. E. Petrillo, D. Moy, J. J. Bucchignano, H. Y. Ng, M. G. Rosenfield, F. J. Hahn, and M. D. Rodriguez, IEDM Technical Digest 56 (1988).
4. P. F. Schmidt, Solid State Tech.26, 147 (1983).
5. S. E. Blum, United States Patent 4,606,935; S. Yoon and M. H. White, Electrochem. Soc. Meeting, Los Angeles, 1989.