1. Herstellung von Siliziumscheiben;Silizium-Halbleitertechnologie;2023
2. Depositionsverfahren;Silizium-Halbleitertechnologie;2023
3. Herstellung von Siliziumscheiben;Silizium-Halbleitertechnologie;2018-12-13
4. Depositionsverfahren;Silizium-Halbleitertechnologie;2018-12-13
5. Depositionsverfahren;Silizium-Halbleitertechnologie;2014