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Springer Fachmedien Wiesbaden
Reference8 articles.
1. Bludau, W.: Lichtwellenleiter in Sensorik. und optischer Nachrichtentechnik. Springer, Berlin (1998)
2. Campbell, S.A.: The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. Oxford University Press, New York (1996)
3. Doering, R., Nishi, Y.: Semiconductor Manufacturing Technology. CRC Press LLC, Florida (2008)
4. Harth, W.: Halbleitertechnologie. Teubner Studienskripten. Teubner, Stuttgart (1981)
5. Peters, D. Fischer, K. Müller, J.: „Integrated Optics Based on Silicon Oxynitride Thin Film Deposited on Silicon Substrates for Sensor Applications“, Sensors and Actuators, S. 425–431. (1991)