1. Beneking, H.: Halbleiter-Technologie. Teubner, Stuttgart (1991)
2. Frühauf, J.: Werkstoffe der Mikrotechnik. Hanser, Leipzig (2005)
3. Harth, W.: Halbleitertechnologie. Teubner Studienskripten, Stuttgart (1981)
4. Semiconductor Industry Association: The National Technology Roadmap for Semiconductors. Semiconductor Industry Association, San Jose (1997)
5. von Münch, W.: Einführung in die Halbleitertechnologie. Teubner, Stuttgart (1993)