1. Oxidation des Siliziums;Silizium-Halbleitertechnologie;2023
2. Herstellung von Siliziumscheiben;Silizium-Halbleitertechnologie;2023
3. Dotiertechniken;Silizium-Halbleitertechnologie;2023
4. Herstellung von Siliziumscheiben;Silizium-Halbleitertechnologie;2018-12-13
5. Dotiertechniken;Silizium-Halbleitertechnologie;2018-12-13